Lors de la conférence internationale IEEE Electronic Components
and Technology (ECTC 2024, USA, mai 2024), les équipes de Nanoelec
ont démontré la faisabilité de la combinaison des technologies de
collage hybride et des connexions traversantes (TSV : Through
Silicon Via) à haute densité. Ces développements sont menés par le
CEA et les entreprises STMicroelectronics, Prophesee, Lynred ,
Siemens EDA dans le cadre du programme Smart Imager de l’IRT
Nanoelec.
L'amélioration du procédé d'amincissement avec un nouvel outil de
meulage a permis de réduire la variation de l’épaisseur totale à
environ 1 μm. Un rendement de connexion électrique de 100 % par
collage hybride et TSV a été démontré.
Depuis plusieurs années, Nanoelec se concentre sur le développement
de briques technologiques nécessaires à la conception et à la
fabrication d’imageurs "trois couches" pour préparer les futures
générations de capteurs d’images intégrant des fonctions de vision
et d’IA embarquée.
Stéphane Nicolas et
Stéphan Borel,
chercheurs au CEA-Leti, présenteront ces
travaux au cours d’un webinaire animé par Eric Ollier (CEA), Directeur du
programme Nanoelec/Smart
Imager.